符毓 Yu
(2023-09-30 10:07):
#paper doi:10.1038/171737a0 International Conference on Industrial Engineering and Systems Management (IESM), 2019, AMHS Vehicle Management Policies in
Semiconductor Manufacturing: A Short Review. AMHS（Automated Material Handling Systems）在半导体晶圆厂里属于较为重要的设备系统，主要解决不同加工工序间物料的等待和运输效率问题。国内有少数企业正在努力做此环节的国产替代故而关注到这个方向。本文较为基础，介绍了AMHS的背景、特征和构成，以及主流调度方法的各自优缺点
Molecular Structure of Nucleic Acids: A Structure for Deoxyribose Nucleic Acid
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Abstract:
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